儀器校準自準直儀檢定角擺時，將平面反射鏡安置在儀器的滑板或工作臺面上，自準直儀安裝在儀器具基座上。檢大、小工顯時，應將儀器和自準直儀安裝在同一基體（如平板上。調整自準直儀和反射鏡，使其平行于滑板行程方向。

將滑板以正向和反向移動全行程，按自準直儀讀數。大與小讀數的差值即為滑板移動的直線度。縱向和橫向滑板移動的角度，應在水平和垂直兩個方向分別進行檢定。

用測微表和平尺檢定直線度時，將測微表用表架固定在儀器的主顯微鏡上。平尺安裝在儀器的工作臺上，并調整至與滑板移動方向平行。調整測微表，使其測量軸線垂直于平尺測量面。升降主顯微鏡臂架或移動滑板，使測微表的測量頭與平尺測量面接觸，同時使表的示值于零位或其鄰近的某一值。以正向和反向移動滑板全行程，觀看測微表上示值的變化。同樣，也應在水平和垂直兩個方向上分別進行檢定。